Во время производственного процесса полупроводников неизбежно производится загрязнители, такие как частицы, органическое вещество, естественные оксидные слои и металлические примеси. Чистительная машина относится к процессному оборудованию, которое осуществляет нерушительную очистку поверхности пластинки для удаления примесей и получения желаемой чистой поверхности, подготавливая хорошие условия для следующего этапа процесса. Чистительные машины широко используются на различных этапах производства интегральной схемы, включая очистку пленки до / после, очистку плазменного травления, очистку ионной имплантации, химическую механическую очистку полировки и очистку отложений металла. Технология очистки является одним из важных факторов, влияющих на производительность чипов....